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半導體生產專用純水設備

產品介紹

  硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力??茖W技術的發展不斷推動著半導體的發展。自動化和計算機等技術發展,使硅片(集成電路)這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防,甚至悄悄進入每一個家庭。

工藝設計
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點
設備特點

  1、連續運行禪水質穩定品質更佳。

  2、系統運行可靠性穩定。

  3、運行成本低。

  4、占地面積小。

  5、自動化程度高。

  6、操作及維護簡單,無需接觸酸堿。

  7、使用安全及環境良好。

  8、無污水排放,無環境污染。

技術參數
電導率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水溫度:5~35℃
總硬度:<0.5ppm
有機物:<0.5 ppm,TOC為零
氧化物:≤0.05ppm
鐵、錳:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm
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